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意法半导体和合作伙伴准备好用于医疗3D打印的PiezoMEMS晶圆

2023-03-17 来源:洛阳机械信息网

意法半导体和合作伙伴准备好用于医疗,3D打印的Piezo MEMS晶圆

意法半导体和合作伙伴已经在新加坡现有的意法半导体工厂内建立了一个实验室,用于压电MEMS的工作。

该实验室旨在帮助加快用于医疗,3D打印以及增强和虚拟现实的压电MEMS(微机电系统)的批量生产。压电MEMS目前处于概念验证阶段中国机械网okmao.com。

ST表示,新工艺的第一批晶圆将于2021年中期推出,预计到2022年底将实现量产。

该实验室将成为新加坡ST宏茂桥校区新的洁净室,过程科学家和工程师将在此工作。意法半导体的合作伙伴包括新加坡研究机构A * STAR微电子研究所和日本制造工具供应商ULVAC。

他们的工作是建立和运营专注于Piezo MEMS的8英寸晶圆研发生产线。精通压电MEMS设备设计和系统集成的IME专家将为实现平稳的产品流程提供工具。

意法半导体说,实验室制造方法将帮助客户更轻松地从可行性研究转向产品开发和大批量生产。

压电MEMS致动器可用于新技术,例如用于智能眼镜,AR头戴式受话器和LiDAR系统的MEMS反射镜,以及用于新医疗应用的压电微机械超声换能器,以及用于商业和工业3D打印的压电磁头。

数十年来,基于压电的组件已被用来从大量压电材料中构建执行器或传感器。最近,工艺制造方面的创新使MEMS工业能够使用薄压电膜在更小晶圆级别上设计和制造产品。这导致了更多的小型化工作,随之而来的是性能的提高和成本的降低。

维基百科说,压电是一种电荷,会积聚在某些材料中,例如晶体,某些陶瓷和生物材料中,例如骨骼和DNA。

从字面上看,该术语是指由压力和潜热产生的电。压电来自希腊语,意为“挤压或挤压”。法国物理学家雅克(Jacques)和皮埃尔·居里(Pierre Curie)于1880年发现了压电。压电目前被用作打火机和推动式丙烷烧烤的点火源,还被用作一些吉他和现代电鼓触发器中的放大拾音器。

锆酸钛酸铅晶体在压力下仅变形0.1%时,就会产生可测的压电性。

总部位于日内瓦的意法半导体(ST)于2019年庆祝其在新加坡工作50周年。也是在2019年,意法半导体在新加坡开设了一家新的8英寸晶圆厂。ST拥有46,000名员工,是欧洲最大的半导体制造商。它在2019年排名世界第八,收入为95亿美元。

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